随着国内半导体产业快速扩产，芯片制程产生的剧毒含砷废气治理，一直是行业绿色发展的关键难题。

针对行业痛点，世源科技自主研发“含砷废气干式吸附设备”新产品，该设备兼顾安全生产、人员健康与生态环保价值，能够规避作业人员接触有毒物料的安全风险，高效实现废气达标排放，同步实现节能降耗。有力助力半导体特种废气治理装备国产化突破，为集成电路、化合物半导体企业提供安全可控的国产环保配套方案。

设备已在多个12英寸集成电路生产线项目上实现工程应用，运行稳定，排放满足环评要求，产品可靠性得到实际项目验证。

世源科技将持续深耕国产环保装备研发，打磨产品实力，为行业输出高效可靠的特种废气治理解决方案，护航我国半导体产业绿色高质量发展。